手机版 |
产品分类 |
质谱检测分析仪
DEMS微分电化学质谱仪
EPIC离子/分子分析质谱仪
IDP离子/分子分析质谱仪
托卡马克装置残余气体分析质谱仪
分子束外延残余气体分析四极质谱仪
三级过滤高分辨四极质谱仪
超高真空残余气体分析四极质谱仪
热重分析质谱仪
快速反应质谱仪
空间分辨质谱仪
热分析仪
Trident薄膜导热测试仪
Trident热常数分析仪
Trident热导率测量仪
Trident导热仪
Trident瞬态平面源
Trident HotDisk瞬态平面热源法导热仪
C-Therm Trident导热系数测试仪
C-Therm新型三合一导热系数分析仪Trident
比表面积测定仪
Hiden MBR气体膜分离测试仪
Hiden XEMIS磁悬浮重量吸附仪
磁悬浮吸附、解析分析仪
高压储氢研究分析仪(器)
Hiden IGAsorp水分吸附仪
Hiden IGA智能重量法吸附分析仪
催化微反应器–质谱仪
其他
Hiden ABR气体竞争性吸附分析仪
多路采样阀
鼻腔采样器
多路进样器
超高真空TPD工作站
分子束外延沉积速率监测/控制系统
气体检测仪
呼气采样系统
液态自动定标校准系统
超高分辨率在线VOCs分析仪
IONICON质子传递反应质谱仪
在线VOC监测检测分析质谱仪
橡塑行业专用测试仪
微型双螺杆共混挤出机
微型注射成型机
微型薄膜成型设备
微型纺丝机
制样/消解设备
高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)
锂电行业专用测试系统
Hiden LAS泄漏分析系统
元素分析仪
铯离子枪
联系方式 |
产品系列
产品描述
仪器简介:
IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量**化监测.
技术参数:
应用:
• 终点检测(End Point Detection)
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测
主要特点:
特点:
• 高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu
• 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
• 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
• Penning规和互锁装置,以提供过压保护
• 数据系统与过程控制工具整合
• 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯